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蓄熱氧化裝置簡稱RTO（Regenerative Thermal Oxidizer），根據(jù)待處理廢氣的性質(zhì)、風量和煙氣排放標準的不同可以分為二箱室、三箱室、多箱室（4~12箱室）和旋轉(zhuǎn)式。根據(jù)處理有機廢氣中有機污染物的組成不同可由廢氣預處理段、廢氣蓄熱氧化段（RTO本體）、富裕熱量余熱回收段（副產(chǎn)飽和蒸汽或過熱蒸汽）、煙氣再處理段等部分組成。

廢氣蓄熱氧化段（RTO本體）是RTO系統(tǒng)的核心部分，主要由蓄熱體放熱（預熱廢氣）、廢氣高溫熱氧化（760~1100℃）、蓄熱體吸熱（煙氣放熱）三個主要過程組成，有機廢氣經(jīng)過蓄熱室到氧化室的過程中進行預熱，在氧化室760~1100℃的高溫下發(fā)生氧化分解，凈化后的煙氣再通過另一側(cè)蓄熱室時釋放熱量，降低排放煙氣的溫度，因RTO蓄熱體的放熱和吸熱過程屬于直接換熱，熱效率比較高，一般在95%以上，使得出口處煙氣溫度略高于RTO入口溫度，一般情況下升高溫差不超過50℃，因此采用RTO技術(shù)處理有機廢氣節(jié)能效果顯著、運行成本相對于其它高溫氧化的工藝較為低廉。

另外，當處理的有機廢氣熱值較高時，可以選擇增設余熱鍋爐用于副產(chǎn)飽和蒸汽或過熱蒸汽用于熱量的回收，從而產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟效益。